ዝርዝር መግለጫ | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20(የአየር ተሸካሚ ባቡር) |
የሞተር ዓይነት | ባለሶስት-ደረጃ ብረት-አልባ ሞተር | የድምጽ ጥቅል ሞተር+ |
ጥራት | ነባሪ 100nm ዲጂታል ብዛት | 1 ቪፒ እስከ 5 nm |
የሞተር ግፊት | ቀጣይነት ያለው 60N/ከፍተኛ 210N | ቀጣይነት ያለው 60N/ከፍተኛ 210N |
ዝቅተኛው የእርምጃ መጠን [nm] | 200 nm | 100 nm |
ጉዞ [ሚሜ] | 200×200 | 10 |
ተደጋጋሚነት [um] | ±0.3 | |
የአቀማመጥ ትክክለኛነት [um] | ±1 | ± 0.5 |
ጠፍጣፋነት [ኤም] | 10um | 5um |
ቀጥተኛነት [ኤም] | 1um | 1um |
ከፍተኛ ፍጥነት [ሚሜ/ሰ] | 500 ሚሜ በሰከንድ | 30 ሚሜ በሰከንድ |
የመጫን አቅም [ኪግ] | 5 ኪ.ግ (Z ዘንግ በአየር ግፊት የማያቋርጥ የኃይል ሚዛን ክብደት) |